TFMS-LD反射光谱薄膜测厚仪
产品简介：TFMS-LD 是一款反射光谱薄膜测厚仪，可快速精确地测量透明或半透明薄膜的厚度，其测量膜
厚范围为15nm-50um，仪器所发出测试光的波长范围为400nm-1100nm。此款测试系统理论基础为镜面反
纤反射探头。仪器尺寸小巧，方便于在实验室中摆放和使用。
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产品型号 |
TFMS-LD 反射光谱薄膜测厚仪 |
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测量膜厚范围 |
15nm-50um |
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光谱波长 |
400 nm - 1100 nm |
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主要测量透明 或半透明薄膜 厚度 |
氮化物 光刻胶 半导体（硅，单晶硅，多晶硅等） 半导体化合物（ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS 等） 硬涂层（碳化硅，类金刚石炭） 聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺) 金属膜
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特点 |
测量和数据分析同时进行，可测量单层膜，多层膜，无基底和非均匀膜 |
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包含了 500 多种材料的光学常数，新材料参数也可很容易地添加，支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA 等 体积较小，方便摆放和操作 可测量薄膜厚度，材料光学常数和表面粗糙度 使用电脑操作，界面中点击，即可进行测量和分析 |
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精度 |
0.01nm 或 0.01% |
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准确度 |
0.2%或 1nm |
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稳定性 |
0.02nm 或 0.02% |
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光斑尺寸 |
标准 3mm,可以小至 3um |
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要求样品大小 |
大于 1mm |
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分光仪/检测器 |
400 - 1100 nm 波长范围 光谱分辨率: < 1 nm 电源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W
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光源 |
5W 的钨卤素灯 色温： 2800K 使用寿命:1000 小时 |
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反射探针 |
光学纤维探针， 400um 纤维芯 配有分光仪和光源支架 |
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载样台 |
测量时用于放置测量的样品
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通讯接口 |
USB 接口，方便与电脑对接 |
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TFCompanion 软件 |
强大的数据库包含两 500 多种材料的光学常数（n：折射率， K：消失系数） |
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误差分析和模拟系统，保证在不同环境下对样品测量的准确性 可分析简单和复杂的膜系 |
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设备尺寸 |
200x250x100mm |
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重量 |
4.5kg |
