薄膜厚度测量系统TF200
产品简介：TF200 薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。TF200 薄 膜厚度测量系统根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围 1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于 100nm 以上的薄膜，还可以测量n 和k 值。
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产品名称 |
TF200 薄膜厚度测量系统 |
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产品型号 |
TF200-VIS |
TF200-EXR |
TF200-DUV |
TF200-XNIR |
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主要特点 |
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高 |
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应用领域 |
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、 MEMS ，SOI 等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、 聚亚酰胺 ITO 等) LED (SiO2 、光刻胶 ITO 等） 触摸屏(ITO AR Coating 反射/穿透率测试等) 汽车(防雾层、 Hard Coating DLC 等） |
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医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等） |
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波长范围 |
380-1050nm |
380-1700nm |
190-1100nm |
900-1700nm |
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厚度范围 |
50nm-40um |
50nm-300um |
1nm-30um |
10um-3mm |
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准确度（取决于材 料0.4%或 2nm 之间 取较大者） |
2nm |
2nm |
1nm |
10nm |
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精度 |
0.2nm |
0.2nm |
0.2nm |
3nm |
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入射角 |
90° |
90° |
90° |
90° |
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样品材料 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
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测量模式 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
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光斑尺寸（可选微 光斑附件。） |
2mm |
2mm |
2mm |
2mm |
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是否能在线 |
是 |
是 |
是 |
是 |
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扫描选择 |
XY 可选 |
XY 可选 |
XY 可选 |
XY 可选 |
