SE-i 光谱椭偏仪03090808
SE-i 光谱椭偏仪
产品简介： 光谱椭偏仪 SE-Vi 是一款集成式原位光谱椭偏仪，针对有机/无机镀膜工艺研究 的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发，快速实现光学薄膜原位表征分析。光谱椭 偏仪广泛应用于金属薄膜、有机薄膜、无机薄膜的物理/化学气相沉积， ALD 沉积等光学薄 膜工艺过程中实际原位在线监测并实时反馈测量物性数据。
产品型号 | SE-i 光谱椭偏仪 |
技术参数 | 1、自动化程度：固定变角 2、应用定位：原位定制型 3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S 等光谱 4、分析光谱： 380-1000nm，支持按需定制化 5、单次测量时间： 0.5-5s 6、重复性测量精度： 0.01nm 7、入射角范围： 65°（支持定制） |
