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SE-VE光谱椭偏仪03090803


SE-VE 光谱椭偏仪


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产品简介: SE-VE 是一款超高性价比、快速测量光谱椭偏仪,紧凑集成设计,使用简便,可一键快速测量 表征各式光学薄膜膜厚以及光学常数等信息。高性价比光学椭偏测量解决方案,紧凑集成化设计,极致用 户操作体验,一键快速测量分析,人机交互设计,使用便捷,丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大 数据分析能力,广泛应用于科研/企业中各种单层到多层薄膜膜厚以及光学常数等快速表征分析。


产品型号

SE-VE 光谱椭偏仪

主要特点

1、采用高性能进口复合光源,光谱覆盖可见到近红外范围img2(400-800nm)


2、高精度旋转补偿器调制、 PCRSA 配置, 实现Psi/Delta光谱数据高速采集


3、数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料

技术参数

1、自动化程度:固定角


2、应用定位:经济型


3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S、R 等光谱


4、分析光谱: 400-800nm


5、单次测量时间: 0.5-5s


6、重复性测量精度: 0.05nm


7、光斑大小: 大光斑 1-3mm


8、入射角调节方式:固定角





9、入射角范围: 65°


10、找焦方式:手动找焦


11、Mapping 行程:不支持


12、支持样件尺寸: 最大至 160mm

可选配件

1

温控台

2

真空泵

3

透射吸附组件