高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
产品简介： 高真空三温区 CVD 系统 OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV 是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成 的 CVD 系统，其炉管直径为 4″ ，最高温度可达 1200℃ ，极限真空可达 10-5 torr ，混气系统可对 1-9 种气体 进行精确的混合，然后导入管式炉内部，可用来研究气体环境对材料的影响。
产品型号 | 高真空三温区 CVD 系统 OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 |
1、水：不需要 | |
2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地 | |
3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 | |
4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上 5、通风装置：需要 | |
主要特点 | 1、炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度<60℃。 |
2、保温材料采用高纯氧化铝纤维，减少热量损失，且内膛涂有高温氧化铝涂层，可提高加热 效率，延长使用寿命。 | |
3、设有三个温区，可独立控温， 可设置 50 段升降温程序，并设有过热和断偶保护。 | |
4、供气系统与真空机组置于移动架内，方便移动。 | |
5、真空系统采用一键操作，按下“start” 键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动 （隔膜泵先启动， |
待真空度达到 10-2mbar 后分子泵自动启动）。 6、根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率。 | |
7 、已通过 CE 认证。 | |
技术参数 | 管式炉 1、电源： AC 208V-240V 单相 50Hz/60Hz 7KW 2、炉管：高纯石英管， 外径 Ø100mm×内径 Ø92mm×1400mm 3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆 |
4、加热区： 温区 I 长 220mm ，温区 II 长 440mm ，温度 III 长 220mm ，总长 880mm 5、恒温区： 500mm （三个温区设为同一温度时） 6、工作温度： 最高 1200℃， 连续工作 1100℃ 7、最大升温速率：≤20℃/min 8、控温精度：± 1℃ 9、热电偶： 3 根 K 型热电偶 | |
高真空机组 1、输入电源： AC110V 或 AC220V 可切换 50Hz/60Hz 2、消耗功率： 110W | |
3、壳体尺寸： 600mm×600mm×700mm 4、最大承重量： 270kg 5、抽气速率： N2-33L/s ，He-39L/s ，H2-32L/s 6、工作范围： 1000mbar-<10-7mbar 7、极限真空度： 10-5torr 8、数字式真空显示计： 10-8mbar-103mbar |
质量流量混气系统 1、质量流量计： 9 通道精密质量流量计 | |||
2、流量计范围： 10sccm-1000sccm 三个， 20sccm-200sccm 三个， 30sccm-10sccm 三个 3、压力表： 3 个，用来检测混合气体压力 | |||
产品规格 | 尺寸： 炉体 550mm×380mm×520mm ，高真空机组 600mm×600mm×700mm，质量流量混 气系统 600mm×600mm×700mm 重量： 100kg | ||
真空配件 | 1 | 不锈钢真空密封法兰 | 2 个 |
2 | 精密针阀 | 2 个 | |
3 | 1/4″软管接头 | 1 个 | |
4 | 高温硅胶 O 型密封圈（最高可承受 300 ℃） | 6 个 | |
5 | 氧化铝管堵 | 1 套 | |
6 | KF-40 真空波纹管 | 1 根 | |
7 | KF-40 快速卡箍 | 3 个 | |
8 | KF-25 卡箍 | 2 个 | |
可选配件 | 防腐型数字式真空显示计 | ||
