开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV
产品简介： 开启式单温区低真空 CVD 系统 OTF-1200X-F3LV 是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道 浮子混气系统组成， 可为 CVD 或扩散实验提供 1-3 种的混合气体， 真空度可达 10-2torr。
产品型号 | 开启式单温区低真空 CVD 系统 OTF-1200X-F3LV |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1、双层壳体，配有循环风冷系统，壳体温度<60℃。 2 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。 3 、采用 PID 控制器 ，可以设置 30 段升降温程序。 4、设有超温及断偶报警功能。 |
5 、已通过 CE 认证。 | |
技术参数 | 1 、电源： AC 220V 50Hz/60Hz 2.5KW 2、石英管： 外径 Ø80mm ，内径 Ø75mm ，长 1000mm |
3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝 4、加热区域： 440mm | |
5、恒温区域： 150mm 6 、工作温度： 最高 1200℃ ，连续工作 1100℃ 7、最大升降温速率： 20℃/min 8、控温精度：± 1℃ 9、真空度： 5.5×10-3torr （机械泵）， 10-4torr （分子泵） 10、泄漏率： <5mtorr/min 11、浮子流量计： 3 个； 10ml/min-100ml/min ，16ml/min-160ml/min ，25ml/min-250ml/min 12、压力表： 4 个 | |
产品规格 | 尺寸： 管式炉 550mm×380mm×520mm ，混气系统 600mm×600mm×597mm；重量： 60kg |
