PMS 椭偏在线监测装备03090810
产品简介： 椭偏在线监测装备针对 LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要，专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件，自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。椭偏在线监测装备广泛应用于工业中新型光电器件行业所涉及的 PI 配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/ 无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。
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产品型号 |
PMS 椭偏在线监测装备 |
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主要特点 |
1、支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告
2、支持最大 193-2500nm 全波段分析测量
3、支持多椭偏方案，多组合集成
4、支持测头模块以及样件机台定制化 |
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技术参数 |
测头规格 |
穆勒矩阵椭偏测 头 |
光谱椭偏测头 |
反射膜厚测头 |
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自动化程度 |
可变/固定角+ |
可变/固定角+ |
垂直角+ |
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mapping |
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mapping |
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应用定位 |
高阶高精度型 |
高精度型 |
通用型 |
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单次测量时间 |
0.5-5s |
小于 1s |
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分析光谱 |
380-1000m(支持扩展至 193-2500nm) |
380-1100nm |
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Mapping 行程 |
支持行程定制化 |
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支持样件尺寸 |
安需定制化 |
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