混气系统3路质子GSL-3Z
产品简介： 混气系统 3 路质子 GSL-3Z 是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉， 这种气体控 制系统安装在移动架内， 管式炉可以放在移动架上面， 气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的 调节阀，可以用于 CVD 系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种 材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用， 广泛应 用于电子工艺设备， 如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及 其它分析仪器。
产品型号 | 混气系统 3 路质子 GSL-3Z |
主要特点 | 精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便。 |
技术参数 | 1、电源： 185-245V 50Hz 2、最大输出功率： 18W 3 、 控 制 范 围 ： 控 制 器 1——0-100SCCM 、 控 制 器 2——1-199SCCM 、 控 制 器 3——1-499SCCM 5、准确度：± 1%FS 6、线性：±0.5-1.5% 7、重复精度：±0.2%FS 8、响应时间： 气特性 1-4s ，电特性 10s 针阀： 316 不锈钢 |
9、工作压差范围： 0.1-0.5 MPa | |
10、压力表测量范围： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） | |
11、混气罐： Ø80mm×120mm 12、截止阀： Ø1/4″ ，316 不锈钢针阀 | |
13、工作温度： 5-45℃ | |
产品规格 | 尺寸： 600mm×600mm×650mm |
