生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW
产品简介： 生长纳米线 CVD 炉 OTF-1200X-4-NW 是一种紧凑型 CVD 炉，专为生长各种纳米线而设计，基 片最大 3″。在法兰的左侧装有一个小加热器，可对输入的气体、液体、固体进行预加热后进入 CVD 炉 进行纳米线的生长。其可滑动的样品架使操作更为简单。
产品型号 | 生长纳米线 CVD 炉 OTF-1200X-4-NW |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1 、由 OTF-1200X-4 单温区炉演变而来的紧凑型 CVD 炉。 2 、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。 3 、带样品支架的右法兰是滑动的，方便样品的快速取放。 4 、左侧的小加热器可对输入 CVD 炉的气体、液体、固体或混合物进行预加热，不锈钢加热腔 外径 30mm 、长 150mm ，最高工作温度 600℃。 5 、左边法兰（在加热器与 CVD 炉之间） 装有 4 个 1/4″卡套连结的通气管，具有密封和气体通 道的作用。 6 、PID 自整定数字控制器 ，可以设置 30 段升降温程序。 |
7、选配相关软件可用计算机进行控温。 | |
8 、已通过 CE 认证。 | |
技术参数 | 1 、额定电压： 单相 AC 220V 50Hz/60Hz |
2、额定功率： 3KW（需 20A 的空气开关） | |
3、石英管： 外管外径 Ø110mm ，内径 Ø102mm ，长 381mm | |
4、加热区域： CVD 炉 400mm ，加热器 150mm | |
5 、工作温度： CVD 炉最高 1100℃（<2h），连续工作 200℃-1000℃， 最大升降温速率 10℃ /min； 加热器连续工作 0-500℃， 最大升降温速率 10℃/min | |
6 、控温精度：±1℃ | |
7、热电偶： K 型 | |
8、右法兰：一个 3″石英样品支架， 与石英挡板、法兰连成一体， 设有 KF25 真空快接口， 以 及水冷接口（可选配水冷机， 避免 O 型圈融化） | |
9、左法兰： 有 2 个独立 1/4″口，可单独将任何气体通入炉内，一路 1/4″口将预热气体通入 CVD 炉，一路 1/4″口将不加热的气体通入炉内，并通过炉内的 T 型结构与加热气体汇合 | |
产品规格 | 尺寸： 1200mm×450mm×510mm；重量： 100kg |
可选配件 | 1、水冷机 |
2、控温软件 |
