高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV
产品简介： 高真空 CVD 系统 OTF-1200X-80-C2HV 是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组 成，最高工作温度可达 1200℃ ，混气系统可以对两种气体进行精确的混气，然后导入管式炉内部，本系统 极限真空度可达 10-5 torr。
产品型号 | 高真空 CVD 系统 OTF-1200X-80-C2HV |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<60℃。 2 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。 3 、采用 PID 控制器， 可以设置 30 段升降温程序。 4 、质量流量系统采用 316 不锈钢制作而成。 |
5 、已通过 CE 认证。 | |
技术参数 | 管式炉 1 、电源： AC 220V 50Hz/60Hz |
2、石英管： 外径 Ø80mm ，内径 Ø75mm ，长 1000mm 3、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝（表面涂有氧化锆） | |
4、加热区域： 440mm 5、恒温区域： 150mm 6 、工作温度： 最高 1200℃ ，连续工作 1100℃ 7、最大升降温速率： 20℃/min 8、控温精度：± 1℃ | |
9、热电偶： K 型 | |
高真空机组 1、壳体： 600mm×600mm×700mm ，最大承重 275kg 2、真空泵： 德国 Pfeiffer 真空泵 3、显示屏： LCD 数字显示 4、抽气速率： N2-33L/s ，He-39L/s ，H2-32L/s 5、工作范围： 1000mtorr-10-7mtorr 6、极限： 10-8mtorr （无泄漏） | |
质量流量混气系统 1、电源： 单相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率： 18W 3、尺寸： 600mm×600mm×700mm 4、混气箱： Ø80mm×120mm |
