1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV
产品简介： 1700℃单温区三通道混气 CVD 系统 GSL-1700X-F3LV 是由单温区管式炉、三路浮子混气系统 和双旋片式真空泵组成，最高工作温度可达 1700℃ ，混气系统可以对三种气体进行精确的混气，真空度可 达 5 ×10-2 torr。
产品型号 | 1700℃单温区三通道混气 CVD 系统 GSL-1700X-F3LV |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。 2、采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，有效减少能量损失。 3 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率和延长使用寿命。 4 、采用 PID 控制器 ，可以设置 30 段升降温程序，并设有过热和断偶保护功能。 |
5 、已通过 CE 认证。 |
技术参数 | 管式炉 1 、电源： 单相 AC 208V-240V 50Hz/60Hz 5KW 2、炉管： 99.8%高纯氧化铝陶瓷管， 外径 Ø80mm ，内径 Ø72mm ，长 1000mm 3、加热元件： 1800℃级硅钼棒 8 根 4、加热区域： 457mm 5、恒温区域： 150mm 6 、工作温度： 最高 1700℃ 7、最大升降温速率： 5℃/min 8、控温精度：± 1℃ 9、真空度： 5×10-2 torr 10、泄漏率： 最大 6mtorr/min |
真空系统 1、真空泵：双旋片机械泵 2、可达真空度： 5×10-2 torr 3、法兰：不锈钢密封法兰 4、针阀： 2 个不锈钢针阀 | |
5、真空泵接口： KF-25 6、软管接头： 1/4″ 7、真空显示计： LED 数字式真空显示计， 测量范围 0.1mtorr-850torr | |
浮子流量混气系统 1、浮子流量计： 3 个， 精确度 4%FS 2、流量计范围： 10cc/min-100cc/min ，16cc/min-160cc/min ，25cc/min-250cc/min 3、压力表： 1 个，监测混合气体压力 |
产品规格 | 尺寸：管式炉 550mm×500mm×700mm，混气系统 600mm×600mm×700mm，真空机组 600mm× 600mm×700mm |
重量： 210kg | |
可选配件 | 防腐型数字式真空显示计 |
