GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪
产品简介： GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的最简单、 可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶， 旋转样品台可依次在同一样品上 涂覆三种材料。因此，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作。
产品型号 | GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪 |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃， 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通风装置：不需要 |
主要特点 | 1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电 离气体，以获得最佳镀膜效果。 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 |
5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀 纯净。 |
6 、已通过 CE 认证。 | |||
技术参数 | 1、靶： Ø45mm | ||
2、真空室： Ø160mm×120mm 3、最高真空度：≤4×10-2mbar 4、靶位： 3 个 5、最大电流： 50mA 6、可设定最长时间： 900s | |||
7、微型真空气阀： 连接 Ø3mm 软管 8、最高电压： 1600V DC 9、机械泵： 2L/s | |||
标准配件 | 1 | 金靶材 | 1 个 |
2 | 铜靶材 | 1 个 | |
3 | 铝靶材 | 1 个 | |
4 | 进气针阀 | 1 个 | |
5 | 保险丝 | 2 个 | |
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 | ||
