HB400系列自动平衡型光学平台
不锈钢面板，内心采用蜂窝结构，气垫隔震，可自动平衡
台面平面度公差±0.08mm/600×600mm²，表面光洁度0.8 ～ 1.6 um
系统固有隔振频率1.2Hz ～ 2.0Hz
台面平面度公差±0.08mm/600×600mm²，表面光洁度0.8 ～ 1.6 um
系统固有隔振频率1.2Hz ～ 2.0Hz
- 不锈钢面板，内心采用蜂窝结构，气垫隔震，可自动平衡
台面平面度公差±0.08mm/600×600mm²，表面光洁度0.8 ～ 1.6 um
系统固有隔振频率1.2Hz ～ 2.0Hz 
